Полное описание

АР92-3220
Тысченко, И. Е. Высокотемпературная ионная имплантация в кремний : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физико-мат.наук:01.04.10 / И. Е. Тысченко. - Новосибирск : [б. и.], 1992. - 15 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Рос.Акад.наук,Сиб.отд-ние,Ин-т физики полупроводников. Библиогр.: с. 15(8назв.).

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:669(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкфш. Шифр МФ

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽