Полное описание

АР92-06626
Чапланов, А. М. Стационарный и импульсный отжиг тонких пленок : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:05.27.01 / А. М. Чапланов. - Минск : [б. и.], 1992. - 32 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: АН Республики Беларусь.Ин-т электроники. Библиогр.: с. 28-32(45назв.).

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽