Полное описание

АР92-04830
Бокша, В. В. Разработка основ технологии создания маскирующих слоев для БИС методом лазерной вакуумной проекционной литографии : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / В. В. Бокша. - Минск : [б. и.], 1992. - 21 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Мин.радиотехн.ин-т. Библиогр.: с. 18-21.

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.771.14.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽