Полное описание
>
Авгуцевич, Б. И. Разработка радиоволнового метода и средств многопараметрового технологического контроля полупроводниковых эпитаксиальных структур радиотехнических устройств : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.12.13 / Б. И. Авгуцевич. - Л. : [б. и.], 1991. - 18 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Ленингр.ин-т авиац.приборостроения. Библиогр.: с. 16-18(19назв.).
ГРНТИ | УДК | |
47.61.35 | 621.396.6.002:658.562(043) |
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкфш. Шифр МФ
Заказ фрагмента документа ₽