Полное описание

АР91-15015
Табулин, А. И. Математические и аппаратно-программные средства диагностики стеклопластин для высокоточных фотошаблонов и подложек интегральных схем на основе распределения поверхностного потенциала : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / А. И. Табулин. - Минск : [б. и.], 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Мин.радиотехн.ин-т. Библиогр.: с. 14-15(9назв.).

ГРНТИ	УДК
47.41	621.3.049.75.002:658.562(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкфш. Шифр МФ

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽