Полное описание

АР91-14677
Щапова, И. А. Эллипсометрический метод контроля параметров сложных диэлектрических структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / И. А. Щапова. - М. : [б. и.], 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск.ин-т радиотехники,электроники и автоматики. Библиогр.: с. 14-15(9 назв.).

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76.001.4(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Копия: мкфш. Шифр МФ

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽