Полное описание

АР91-05719
Ниматов, С. Ж. ДМЭ исследование совершенства структуры поверхности при осаждении тонких слоев из низкоэнергетических ионных пучков : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.04 / С. Ж. Ниматов. - Ташкент : [б. и.], 1991. - 22 с. : табл. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : АН УзССР. ИН-т электроники им.У.А.Арифова. Библиогр.:с. 19-22(24 назв.)

ГРНТИ	УДК
29.19.16	539.211(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽