Полное описание

АР91-03478
Хмелев, А. Т. Разработка и реализация метода резки кремния на пластины с упругим закреплением слитка : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / А. Т. Хмелев. - М. : [б. и.], 1991. - 19 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 18-19(8 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.382-047.84(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽