Полное описание

АР91-01735
Илясов, В. Ф. Разработка принципов построения и создание автоматизированных поверочных средств измерения малых расходов газа для микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.13.07 / В. Ф. Илясов. - М. : [б. и.], 1990. - 25 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 18-20

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽