Полное описание

АР91-013135
Ярышевский, М. А. Исследование и разработка интегральных преобразователей влажности для контроля технологических сред микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / М. А. Ярышевский. - М. : [б. и.], 1991. - 23 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Моск. ин-т электронной техники. Библиогр.:с. 21-23(16 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002(043)
	681.586'33(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽