Полное описание

АР90-09860
Середин, Б. М. Основы технологии жидкофазной эпитаксии кремния в поле температурного градиента на подложках повышенного диаметра : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / Б. М. Середин. - Таганрог : [б. и.], 1990. - 19 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Таганрог. радиотехн. ин-т им.В.Д.Калмыкова. Библиогр.:с. 18-19(14 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.382.026.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽