Полное описание

АР90-09465
Жолудев, Г. К. Исследование процессов геттерирования в ионно-имплантированных полупроводниковых структурах : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / Г. К. Жолудев. - Киев : [б. и.], 1990. - 16 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: АН УССР. Ин-т полупроводников. Библиогр.: с.15-16(8 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.9.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽