Полное описание

АР90-06587
Ярцев, М. А. Контроль электрофизических параметров эпитаксиальных структур на основе кремния и гетеросистемы ZnSe-GaAs : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 01.04.07 / М. А. Ярцев. - Ижевск : [б. и.], 1990. - 22 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : АН СССР. Физ.-техн. ин-т. Урал. отд-ние. Библиогр.:с. 19-22(19 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.81	621.315.592.9.002:658.562(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽