Полное описание
>
Патюков, С. И. Разработка низкотемпературных, не вносящих радиационные дефекты, процессов осаждения диэлектрических слоев в реакторе с групповой обработкой пластин : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / С. И. Патюков. - М. : [б. и.], 1990. - 22 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 20-21(15 назв.)
ГРНТИ | УДК | |
47.13.33 | 621.3.049.771.14.002(043) |
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Заказ фрагмента документа ₽