Полное описание

АР90-017491
Акуленок, М. В. Исследование и разработка процесса формирования эпитаксиальных структур "кремний на диэлектрике" для совершенствования технологии СБИС : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / М. В. Акуленок. - М. : [б. и.], 1990. - 17 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 16-17(15 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.771.14.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽