Полное описание

АР90-017426
Бутаев, А. Г. Разработка и исследование тестовых структур для контроля параметров полупроводниковых структур методом фотоответа : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / А. Г. Бутаев. - Ереван : [б. и.], 1990. - 25 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Ереван. политехн. ин-т им.К.Маркса. Библиогр.:с. 22-25(23 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.81	621.315.592.9.001.4(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽