Полное описание

АР90-016984
Сигалов, Э. Б. Принципиальные основы создания оборудования для производства эпитаксиальных структур кремния в газофазных процессах : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / Э. Б. Сигалов. - М. : [б. и.], 1990. - 36 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 31-36(83 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.9.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽