Полное описание

АР90-013621
Боднарь, Д. М. Процессы ионно-плазменного травления и очистки при создании контактно-металлизационных систем биполярных СБИС : дис.на соискание ученой степени канд. техн. наук в формеи науч. докл.: 05.27.01 / Д. М. Боднарь. - Воронеж : [б. и.], 1990. - 25 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Воронеж. гос. ун-т им.Ленин. комсомола. Библиогр.:с. 23-25(23 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.771.14.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽