Полное описание

АР90-012952
Шогенов, Т. К. Контактные системы, сформированные импульсной имплантацией низкоэнергетических ионов переходных металлов в кремний : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / Т. К. Шогенов. - М. : [б. и.], 1990. - 15 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : АН СССР. Физ.-технол. ин-т. Библиогр.:с. 13-15(12 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:669(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽