Полное описание

АР90-011089
Королев, М. А. Конструктивно-технологические решения создания схем с вертикальной интеграцией компонентов - трехмерных интегральных схем на основе рекристаллизованного поликремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / М. А. Королев. - М. : [б. и.], 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Моск. ин-т электронной техники. Библиогр.:с. 39-47(61 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77.001.2(043)
47.14.07

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽