Полное описание
>
Яшин, К. Д. Формирование субмикронных кремнийсодержащих пленок химическим осаждением из газовой фазы в технологии изготовления СБИС : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / К. Д. Яшин. - Минск : [б. и.], 1990. - 25 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Мин. радиотехн. ин-т. Библиогр.:с. 19-25(60 назв.)
ГРНТИ | УДК | |
47.13.11 | 621.3.049.771.14.002(043) | |
47.33.31 |
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Заказ фрагмента документа ₽