Полное описание

АР10-сф28265
Козин, К. А. Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремния ФГУП "ГХК" : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.06 / К. А. Козин. - Томск : [б. и.], 2010. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-21 (12 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
61.31.47	661.681.094.1(043)

Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые материалы -- производство -- кремниевые стержни -- стержневые реакторы -- хлорсиланы
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : СФ (1)
Свободны: СФ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽