Полное описание

АР02-9203
Прудник, А. М. Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.01 / А. М. Прудник. - Минск : [б. и.], 2002. - 21 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Учреждение образования "Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники". Библиогр.: с.1718 (17 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.35	621.3.049.77-047.84:776(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽