Полное описание

АР02-9119
Путря, М. Г. Физико-технологические основы формирования трехмерных микроструктур УБИС плазменными методами : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / М. Г. Путря. - М. : [б. и.], 2002. - 53 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 43-53(63 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.771.14.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽