Полное описание

АР02-445
Изюмов, М. О. Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :05.27.01 / М. О. Изюмов. - Ярославль : [б. и.], 2001. - 20 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 19-20(11 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.771.14-047.84:621.794(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽