Полное описание

АР02-3560
Нелаев, В. В. Многомерное моделирование имплантационных и твердофазных диффузионных процессов в технологии микроэлектроники методом молекулярной динамики и в континуальном приближении : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук :05.27.01 / В. В. Нелаев. - Минск : [б. и.], 2001. - 39 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 25-35

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002.001.57(043)
47.01.77

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽