Полное описание
>
Вотинцева, Е. Е. Исследование структурного совершенства и путей повышения качества бездислокационных монокристаллов кремния диаметром 100 мм, полученных методом Чохральского в условиях отечественного производства : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн.наук:05.27.06 / Е. Е. Вотинцева. - М. : [б. и.], 2000. - 17 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 16-17(5 назв.)
ГРНТИ | УДК | |
29.19.31 | 537.311.322:548.5(043) |
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Заказ фрагмента документа ₽