Полное описание

АР00-9774
Кеменов, В. Н. Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук: 05.27.07 / В. Н. Кеменов. - М. : [б. и.], 2000. - 42 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 39-42 (53 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13	621.38.002.5(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽