Полное описание

АР00-9572
Ивин, В. В. Исследование перспективных фотолитографических процессов с СУБ-0.2 мкм проектными нормами с помощью математического моделирования : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / В. В. Ивин. - М. : [б. и.], 2000. - 22 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. :Физико-технол. ин-т Рос.АН. Библиогр.:с. 22(6 назв.)*

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77-047.84:776(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽