Полное описание
>
Гвоздев, В. В. Исследование магнетронных распылительных систем с жидкометаллическим катодом с целью увеличения производительности и снижения энергозатрат процесса катодного распыления : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 01.04.14 / В. В. Гвоздев. - М. : [б. и.], 1999. - 16 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 16
ГРНТИ | УДК | |
55.22.19 | 621.793.182(043) |
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Заказ фрагмента документа ₽