Полное описание

АР00-8551
Гвоздев, В. В. Исследование магнетронных распылительных систем с жидкометаллическим катодом с целью увеличения производительности и снижения энергозатрат процесса катодного распыления : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 01.04.14 / В. В. Гвоздев. - М. : [б. и.], 1999. - 16 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 16

ГРНТИ	УДК
55.22.19	621.793.182(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽