Полное описание

АР00-646
Шенгуров, Д. В. Структура и электрические свойства легированных пленок поликристаллического кремния, полученных методом молекулярно-лучевого осаждения : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат.наук:01.04.10 / Д. В. Шенгуров. - Н. Новгород : [б. и.], 1998. - 18 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 16-18

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.3-416(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽