Полное описание

АР00-5805
Уткин, А. Б. Развитие емкостных методов измерения профилей легирования полупроводниковых структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10,05.13.16 / А. Б. Уткин. - СПб : [б. и.], 1999. - 17 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:С.-Петербург. ун-т. Библиогр.:с. 15-17

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9.08(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽