Полное описание

АР00-500
Чумаков, С. Н. Ионный имплантер на средние энергии для технологических целей : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 01.04.20 / С. Н. Чумаков. - Новосибирск : [б. и.], 1999. - 10 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. :Ин-т ядерной физики им.Г.И.Будкера СО РАН. Библиогр.:с. 9-10(7 назв.)

ГРНТИ	УДК
55.20.15	621.793.184.06(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽