Полное описание

АР00-4711
Середин, Л. М. Основы технологии получения кремниевых структур с объемными элементами методом жидкофазной эпитаксии в поле температурного градиента : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.06 / Л. М. Середин. - Новочеркасск : [б. и.], 2000. - 20 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 19-20(20 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9.002(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽