Полное описание

АР00-150
Тыщишин, В. В. Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок (применительно к сборке ИС в полимерные корпуса) : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.07 / В. В. Тыщишин. - М. : [б. и.], 1999. - 21 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 20-21(12 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77.004.6(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽