Полное описание

АР00-сф114
Беневоленский, С. Б. Физико-технологические основы травления арсенида галлия в низкотемпературной химически активной плазме магнетронного разряда при производстве изделий электронной техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук:05.27.01 / С. Б. Беневоленский. - М. : [б. и.], 2000. - 37 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 28-33(40 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13	621.315.592:621.794(043)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : СФ (1)
Свободны: СФ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽