• ВХОД

    •  

    Полное описание

    ?-679587488
     Micro-nano technology XIII : sel., peer rev. papers from the 13th annu. conf. of Chin. soc. of micro-nano technology, Sept. 28-30, 2011, Changchow, China / Annual conference of Chinese society of micro-nano technology (13; 2011; Changchow) ; ed. X. Wang. - Electronic text data. - Stafa-Zurich : Trans tech publ., 2012. - (Key engineering materials, ISSN 1662-9795 ; vol. 503). - URL: https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/KEM.503. - Загл. с экрана. - ISBN 978-3-03813-689-7.
    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76-047.84(062)
    81.13.30620.3(063)

    Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные приборы -- производство -- нанотехнологии -- конференции
    Доп. точки доступа:
    Wang, X.\ed.\
    Annual conference of Chinese society of micro-nano technology (13 ; 2011 ; Changchow)
    Экз-ры полностью ?-679587488
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
    Свободны: ПНТ (1)
    https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/KEM.503



    Заказ фрагмента документа ₽

    Просмотр издания