Полное описание

???-859860
Atomic Layer Deposition for Semiconductors / ed. C. S. Hwang. - Electronic text data. - New York, NY [etc.] : Springer sci. + Business Media, 2014. - URL: https://link.springer.com/book/10.1007/978-1-4614-8054-9. - Загл. с экрана. - ISBN 978-1-4614-8054-9.

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.23

Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые пленки -- осаждение
Доп. точки доступа:
Hwang, C.S.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
Свободны: ПНТ (1)
https://link.springer.com/book/10.1007/978-1-4614-8054-9

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽

Просмотр издания