• ВХОД

    •  

    Полное описание

    ???-796243
     Gatzen, H. H. Micro and Nano Fabrication : tools and Processes / H. H. Gatzen, V. Saile, J. Leuthold. - Electronic text data. - Berlin ; Heidelberg : Springer, 2015. - URL: https://link.springer.com/book/10.1007/978-3-662-44395-8#about. - Загл. с экрана. - ISBN 978-3-662-44395-8. - DOI 10.1007/978-3-662-44395-8.
    ГРНТИ УДК
    45.53621.31-181.4-047.84
    81.13.30621.31-022.532-047.84

    Кл.слова (ненормированные): микроэлектромеханические системы -- наноэлектромеханические системы -- производство -- инструменты -- процесс -- нанопроизводство -- микропроизводство
    Доп. точки доступа:
    Saile, V.
    Leuthold, J.
    Экз-ры полностью ???-796243
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
    Свободны: ПНТ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽

    Просмотр издания