Полное описание
>
Gonzalez Ruiz, P. Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors / P. Gonzalez Ruiz, K. De Meyer, A. Witvrouw. - Electronic text data. - Dordrecht : Springer, 2014. - (Springer Series in Advanced Microelectronics, ISSN 1437-0387 ; vol. 44). - URL: https://link.springer.com/book/10.1007/978-94-007-6799-7#authorsandaffiliationsbook. - Загл. с экрана. - ISBN 978-94-007-6799-7.
ГРНТИ | УДК | |
50.09.37 | 681.586 | |
47.33 | 621.315.592.9 |
Кл.слова (ненормированные): датчики -- кремниевые структуры -- интегральные схемы -- микроэлектромеханические системы -- кмоп-структуры
Доп. точки доступа:
Meyer, K. De
Witvrouw, A.
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
Свободны: ПНТ (1)
https://link.springer.com/book/10.1007/978-94-007-6799-7#authorsandaffiliationsbook
Заказ фрагмента документа ₽
Просмотр издания