• ВХОД

    •  

    Полное описание

    ???-713518
     Nojiri, K. Dry Etching Technology for Semiconductors / K. Nojiri. - Electronic text data. - Cham : Springer, 2015. - URL: https://link.springer.com/book/10.1007/978-3-319-10295-5. - Загл. с экрана. - ISBN 978-3-319-10295-5. - DOI 10.1007/978-3-319-10295-5.
    ГРНТИ УДК
    47.13.33621.3.049.77-047.84:621.794
    621.315.592:621.794

    Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые интегральные схемы -- интегральные схемы -- полупроводники -- сухое травление -- плазменное травление -- ионное травлениеЭкз-ры полностью ???-713518
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
    Свободны: ПНТ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽

    Просмотр издания