Электронный каталог

    страница из
    всего найдено записей: 1,
      отображать

    Achenbach S. Optimierung der Prozessbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Rontgenlithographie (UDXRL) : Diss. / S.Achenbach,F.J.Pantenburg,J.Mohr, 2000. - VI,138 S. S. - Текст : непосредственный.