Freiberger R. Realisierung eines hochauflosenden EUV-Mikroskops mit einer optimierten Gasentladungsquelle zum Betrieb mit Wellenlangen um 17 nm zur Mikroskopie an M-Kanten von Elementen : специальность "" : диссертация на соискание ученой степени / R. Freiberger, 2017. - 193 l. - Текст : непосредственный.