Получение нанометровой шероховатости корпускулярно-лучевыми методами / Е. В. Одинокова, Б. И. Левин, А. В. Молчанов [и др.]. - Текст : непосредственный. // "Вакуумная наука и техника" : материалы XX юбил. науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, сент. 2013 г. - М. : МИЭМ, 2013. - с. 208-212