Петрова В.З. Материалы и технология толстых пленок / В. З. Петрова, А. И. Тельминов, Р. Ф. Шутова, 1997. - 260 с. - Текст : непосредственный.
Теоретические основы технологии микроэлектроники / В.З.Петрова,Н.А.Ханова,В.И.Гребунькова,Р.Ф.Шутова, 1993. - 247 c. - Текст : непосредственный.
Обзор свойств химических элементов и их соединений / В.З.Петрова,Н.А.Ханова,В.И.Гребенькова,Р.Ф.Шутова, 1993. - 108 c. - Текст : непосредственный.
Материалы и химические процессы в технологии микроэлектроники / В.З.Петрова,Н.А.Ханова,В.И.Гребенькова,Р.Ф.Шутова, 1993. - 196 c. - Текст : непосредственный.