Шулейко Д.В. Влияние фемтосекундного лазерного облучения и термического отжига на структурные, оптические и электрофизические свойства кремниевых наносистем : 01.04.10 - Физика полупроводников: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Д. В. Шулейко, 2019. - 23 с. - Текст : непосредственный.