Чукалина М.В. Реконструкция микрорельефа поверхности и состава приповерхностных слоев объектов микроэлектроники по рентгенофлуоресцентному сигналу : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат.наук:05.27.01 / М. В. Чукалина, 1997. - 20 с. - Текст : непосредственный.