Цимбалов А.С. Исследование и разработка конструктивно-технологических решений создания транзисторного модуля для изготовления КМОП схем с проектными нормами 0,35 мкм на кластерном технологическом оборудовании : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.01 / А. С. Цимбалов, 2006. - 26 с. с. - Текст : непосредственный.