Фартушная В.М. Оптимизация режимов магнетронного осаждения пленок оксидов металлов для устройств функциональной микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / В. М. Фартушная, 1996. - 22 с. - Текст : непосредственный.