Стемпицкий В.Р. Статистический анализ и оптимизация технологии изготовления интегральных микросхем методом поверхности откликов : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.01 / В.Р. Стемпицкий, 2004. - 21 с. - Текст : непосредственный.